EddyCus在線SR /工具集成式非接觸在線薄層電阻監(jiān)控解決方案
這種非接觸式薄層電阻監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可在制造過(guò)程中直接高速、非接觸地測(cè)量薄層電阻。典型的工藝包括在晶片、箔、紙、聚合物或其他襯底上的PVD、CVD、電鍍或傳統(tǒng)沉積工藝。特別地，這些工藝包括濺射、蒸發(fā)、外延或電鍍工藝。此外，這還涉及噴涂、縫模涂布或電子印刷工藝。此外，薄膜退火和摻雜或印刷電子器件燒結(jié)等薄層電阻增強(qiáng)工藝受益于電氣完整性的在線監(jiān)測(cè)。氧化、蝕刻、拋光以及清潔和干燥過(guò)程的影響也是這種先進(jìn)測(cè)試技術(shù)的廣泛應(yīng)用范圍的一部分。薄層電阻值通常被傳送到MES系統(tǒng)用于質(zhì)量保證，特別是用于過(guò)程控制。
更新時(shí)間：2024-04-02 
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