日本Technomate增壓泵的部分型號(hào)及詳細(xì)介紹
1. KPM 系列
KPM-5030
KPM-40B
排氣壓力:No1 4MPa,流量12L/min;No2 2MPa,流量3L/min
外形尺寸:W470×D800×H370mm
重量:110公斤
產(chǎn)品概要:一種內(nèi)置氣動(dòng)柱塞泵的高壓水發(fā)生裝置,適合安裝在集氣壓調(diào)節(jié)器、氣壓表、排氣壓力表等為一體的裝置中。
規(guī)格:
用途:用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
2. KPW 系列
KPW-20
純水、IPA:FKM
NMP:Kalrez
排氣壓力:0.98~9.8MPa
排出流量:1.13L/min
驅(qū)動(dòng)氣壓:0.05~0.5MPa
耗氣量:約70L(泵沖程數(shù)為60SPM時(shí))
濕密封:
用途:用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
KPW-30
純水、IPA:FKM
NMP:Kalrez
排氣壓力:1.47~14.7MPa
排出流量:0.71L/min
驅(qū)動(dòng)氣壓:0.05~0.5MPa
耗氣量:約70L(泵沖程數(shù)為60SPM時(shí))
濕密封:
用途:用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
KPW-37.5
純水、IPA:FKM
NMP:Kalrez
排氣壓力:1.76~17.6MPa
排出流量:0.58L/min
驅(qū)動(dòng)氣壓:0.05~0.5MPa
耗氣量:約70L(泵沖程數(shù)為60SPM時(shí))
濕密封:
用途:用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
3. FSBL 系列
4. PU 系列
PU300A
外部切斷動(dòng)作時(shí)溢流閥自動(dòng)切換內(nèi)部循環(huán)溢流動(dòng)作壓力0.5MPa
循環(huán)水溫上升檢測(cè)動(dòng)作溫度50℃
過(guò)電流/漏電保護(hù)功能斷路器動(dòng)作
泵:級(jí)聯(lián)不銹鋼泵,400W
排出流量:13L/min(50Hz)/16L/min(60Hz),在0.5MPa壓力下
適用流體:純凈水
遙控功能:水泵運(yùn)行/停止指令,DC24V
安全操作:
電源:AC200V ±10%,3Φ,50/60Hz,1.2kVA
外形尺寸:W228×H336×D520mm
重量:約25公斤
使用環(huán)境:室內(nèi),溫度10~35℃,濕度30~80%
用途:各種清洗設(shè)備、切粒機(jī)主軸電機(jī)冷卻、去毛刺等。
PU201A
外部切斷動(dòng)作時(shí)通過(guò)泄壓閥自動(dòng)切換內(nèi)循環(huán)泄壓動(dòng)作壓力5Kgf/cm2
循環(huán)水溫上升檢測(cè)動(dòng)作溫度50℃
過(guò)電流/漏電保護(hù)功能斷路器動(dòng)作
泵:級(jí)聯(lián)不銹鋼泵,200W
排出流量:17L/min(50Hz)/9L/min(60Hz),在4Kgf/cm2壓力下
適用流體:純凈水
遙控功能:水泵運(yùn)行/停止指令,DC24V
安全操作:
電源:AC100V ±10%,50/60Hz,8A
外形尺寸:W210×H245×D390mm
重量:約15公斤
用途:各種清洗設(shè)備、切粒機(jī)主軸電機(jī)冷卻、去毛刺等。
5. SSBL 系列
6. UPPU 系列